一、操作前准备?

1.设备检查?

检查真空系统（机械泵、扩散泵、罗茨泵等）是否正常

确认炉体密封性（O型圈、法兰、阀门无泄漏）

检查冷却水系统（流量、压力是否达标）

确保加热元件（如石墨、钼丝）无损坏

2.工件准备?

清洁工件表面，去除油污、氧化皮等杂质

避免使用含锌、镉等易挥发金属的镀层

合理装炉，避免工件接触加热元件或炉壁

3.工艺参数设定?

根据材料要求设定升温曲线、保温时间、冷却方式

确定真空度要求（低真空：10?1~10?3 Pa；高真空：≤10?? Pa）

二、操作流程?

1.抽真空?

先启动机械泵抽至低真空（10?1~10?2 Pa）

再启动扩散泵（若需高真空，需预热20~30分钟）

达到目标真空度后，方可开始加热

2.加热阶段?

按预设程序升温，避免过快导致热应力开裂

在低温阶段（<600℃）适当通入惰性气体（如Ar、N?）以减少挥发

监控炉内压力，防止材料挥发污染炉膛

3.保温阶段?

保持设定温度和时间，确保组织均匀化

持续监测真空度，必要时补充惰性气体

4.冷却阶段?

气淬?：通入高纯惰性气体（如N?、Ar）快速冷却

油淬?：适用于部分合金钢，需使用真空淬火油

炉冷?：关闭加热，自然冷却至安全温度（<150℃）

5.破空取件?

冷却至安全温度后，缓慢充入空气至常压

避免快速破空导致工件氧化或炉体损伤

总结?：真空炉热处理的关键在于?真空控制、温度精准、冷却合理?。操作时需严格遵循工艺曲线，确保设备安全，才能获得理想的热处理效果。